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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0376799 (1999-08-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 30 |
A wafer holder assembly includes first and second main structural members from which first and second wafer-holding arms extend. The first arm is secured to the main structural members by a graphite distal retaining member. The second arm is pivotally biased to a wafer-hold position by a graphite bi
[ What is claimed is:] [1.] A wafer holder assembly, comprising:at least one main structural member;a first conductive wafer-holding arm coupled to the assembly by a graphite retaining member having a spring member; anda second wafer-holding arm.
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