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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0963722 (1997-11-04) |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 55 인용 특허 : 33 |
A wafer handling and testing apparatus and method include a station for supporting a wafer carrier, such as a cassette or pod, that holds one or more wafers, where the carrier can be moved in a z-direction. A wafer handling assembly is moveable in an x-direction and removes a wafer from the wafer ca
[ What is claimed is:] [1.] An integrated wafer handling and testing apparatus comprising:a) a wafer handling assembly moveable as a unit in an x-y plane and which removes a wafer from a wafer carrier, said wafer handling assembly including:i) a support arm;ii) an end effector, coupled to said suppo
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