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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0412227 (1999-10-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 3 |
A processing chamber tube used in a semiconductor furnace is guided during its removal from the furnace by a plurality of circumferentially spaced guides. The guides are mounted for adjustable radial movement on a ring-shaped plate. The plate is secured on the base of the furnace. The guides are pre
[ What is claimed is:] [1.] Apparatus for aiding in the removal of a processing tube from a surrounding furnace, said furnace having a cylindrical body surrounding said tube, an open end through which said tube may be removed from said body, and a base at said open end of said body, comprising:a plu
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