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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0328246 (1999-06-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 227 인용 특허 : 4 |
A copper-palladium alloy damascene technology applied to the ultra large scale integration (ULSI) circuits fabrication is disclosed. First, a TaN barrier is deposited over an oxide layer or in terms of the inter metal dielectric (IMD) layer. Then a copper-palladium seed is deposited over the TaN bar
[ What is claimed is:] [9.] A method of forming a copper-palladium alloy damascene for ultra large scale integration circuits, said method comprising:conformably forming a TaN barrier layer on bottom and sidewall surface of a dielectric layer gap;forming a copper seed layer over the TaN barrier laye
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