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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0250308 (1999-02-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 25 |
A fluid collection apparatus having an accumulator for contacting a polishing surface of a polishing pad and collecting fluid from the polishing pad, a reservoir for receiving fluid from the accumulator, and a volume maintainer for maintaining a set volume of fluid in the reservoir.
[ What is claimed is:] [1.] A fluid collection apparatus, comprising:an accumulator for contacting a polishing surface of a polishing pad and collecting fluid from the polishing pad, the accumulator includinga first portion overlying and in contact with the polishing surface, anda second portion at
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