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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0200550 (1998-11-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 3 |
A wafer chuck for positioning and releasably holding a wafer includes a support platform having an upper surface for positioning and supporting the wafer. Wafer banking pins are affixed to the support platform for positioning the wafer. A lift device acting on the wafer when it rests on the support
[ What is claimed is:] [1.] A wafer chuck for positioning and releasably holding a wafer comprising:a support platform having an upper surface means for receiving, positioning, and supporting thereon the wafer;wafer banking pins affixed to said support platform used for positioning said wafer;a devi
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