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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0861260 (1997-05-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 129 인용 특허 : 19 |
A carrier head for a chemical mechanical polishing apparatus. The carrier head includes a housing, a base, a loading mechanism, a gimbal mechanism, and a substrate backing assembly. The substrate backing assembly includes a support structure positioned below the base, a substantially horizontal, ann
[ What is claimed is:] [1.] A carrier head for a chemical mechanical polishing apparatus, comprising:a base;a retaining ring connected to the base;a support structure connected to the base by a flexure to be moveable independently of the base and the retaining ring; anda flexible membrane that defin
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