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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0955949 (1997-10-22) |
우선권정보 | JP0311518 (1996-11-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 17 |
A master plate transporting system automatically detects the presence/absence of master plates accommodated in a container and also detects the position of each master plate in the container as well as the type of the container being used. In this arrangement, the master plate transporting system ex
[ What is claimed is:] [1.] An exposure apparatus for exposing an image pattern formed on a reticle onto an object, the exposure apparatus comprising:an exposure system located between the reticle and the object to expose the image pattern onto the object;a reticle storing system including an upper
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