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Separation of CF4 and C2F6 from a perfluorocompound mixture 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01D-053/22
  • B01D-053/04
출원번호 US-0061977 (1998-04-17)
발명자 / 주소
  • Li Yao-En
출원인 / 주소
  • American Air Liquide Inc.
대리인 / 주소
    Burns, Doane, Swecker & Mathis, L.L.P.
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 32

초록

A process for separating at least one of CF.sub.4 and C.sub.2 F.sub.6 from a gas. The process includes the steps of:

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A process for separating at least one of CF.sub.4 and C.sub.2 F.sub.6 from a gas, said process comprising the steps of:(a) contacting a gas mixture comprising (i) at least one of CF.sub.4 and C.sub.2 F.sub.6, (ii) at least one of NF.sub.3, CHF.sub.3, and N.sub.2, and (iii

이 특허에 인용된 특허 (32)

  1. Robinson Joseph G. (Winchcombe GB2) Barnes David I. (Cheltenham GB2), Aromatic hydrocarbon resins.
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  2. Alegranti ; Constance Wright, Asymmetric polyimide membranes.
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  3. Takamizawa Minoru (Joetsu JPX) Yamamoto Akira (Joetsu JPX) Nagura Shigehiro (Joetsu JPX), Composite hollow fiber.
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  4. Ohyabu Shuzo (Kurashiki JPX) Kawai Syuji (Kurashiki JPX) Okamoto Takehiko (Kurashiki JPX) Migaki Takao (Okayama JPX), Composite hollow fiber-type separation membranes, processes for the preparation thereof and their use.
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  5. Takemura Tohru (Ohtake JPX) Yoshida Haruhiko (Kugagun JPX) Hukunaga Osamu (Iwakuni JPX), Composite hollow fibers and method of making same.
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  6. Bikson Benjamin (Brookline MA) Nelson Joyce K. (Lexington MA), Composite membranes and their manufacture and use.
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  7. Salemme Robert M. (Schenectady NY) Browall Warella R. (Scotia NY), Continuous preparation of ultrathin polymeric membrane laminates.
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  8. Chernyakov Iosif ; Hsiung Thomas Hsiao-Ling ; Schwarz Alexander ; Yang James Hsu-Kuang, Fluorochemical recovery and recycle using membranes.
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  9. Matsuura Junichi (Kamakura JPX) Okada Munehisa (Machida JPX), Gas separation membrane.
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  10. Rao Madhukar B. (Allentown PA) Sircar Shivaji (Wescosville PA) Abrardo Joseph M. (Schnecksville PA) Baade William F. (Breinigsville PA), Hydrocarbon fractionation by adsorbent membranes.
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  11. Kimura Shiro G. (Schenectady NY) Lavigne Raymond G. (Waterford NY) Browall Warella R. (Scotia NY), Method for casting ultrathin methylpentene polymer membranes.
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  12. Cabasso Israel (Syracuse NY) Lundy Kevin A. (Columbus GA), Method of making membranes for gas separation and the composite membranes.
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  13. Takemura Tohru (Hiroshima JPX) Itoh Hajime (Hiroshima JPX) Kamo Jun (Hiroshima JPX) Yoshida Haruhiko (Yamaguchi JPX), Multilayer composite hollow fibers and method of making same.
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  14. Ekiner Okan M. (Wilmington DE) Hayes Richard A. (Parkersburg WV) Manos Phillip (Wilmington DE), Novel multicomponent fluid separation membranes.
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  15. Hayes Richard A. (Hockessin DE), Polyimide gas separation membranes.
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  16. Makino Hiroshi (Ichihara JPX) Kusuki Yoshihiro (Ichihara JPX) Harada Takashi (Ichihara JPX) Shimazaki Hiroshi (Ichihara JPX) Isida Tosio (Ichihara JPX), Porous aromatic imide polymer membrane and a process for its manufacture.
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  17. Li Yao-En ; Duchateau Eric L., Process and system for selective abatement of reactive gases and recovery of perfluorocompound gases.
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  18. Li Yao-En ; Paganessi Joseph E. ; Vassallo David ; Fleming Gregory K., Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases.
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  19. Puri Pushpinder S. (Macungie PA), Process for making highly permeable coated composite hollow fiber membranes.
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  20. Bottenbruch ; Ludwig ; Kampf ; Gunther ; Serini ; Volker ; Vernaleken ; Hugo, Process for manufacturing thin, non-porous gas permeable polycarbonate film s.
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  21. Makino, Hiroshi; Kusuki, Yoshihiro; Yoshida, Hiroshi; Nakamura, Asumaru, Process for preparing aromatic polyimide semipermeable membranes.
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  22. Makino Hiroshi (Ichihara JPX) Kusuki Yoshihiro (Ichihara JPX) Harada Takashi (Ichihara JPX) Shimazaki Hiroshi (Ichihara JPX), Process for producing aromatic polyimide hollow filaments.
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  23. Makino Hiroshi (Ichihara JPX) Kusuki Yoshihiro (Ichihara JPX) Harada Takashi (Ichihara JPX) Shimazaki Hiroshi (Ichihara JPX) Isida Tosio (Ichihara JPX), Process for producing porous aromatic polyimide membranes.
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  24. Li Yao-En, Process for recovering CF.sub.4 and C.sub.2 F.sub.6 from a gas.
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  25. Li Yao-En ; Meimari Magdy,CAX, Process for recovering SF6 from a gas.
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  26. Pinnau Ingo ; Wijmans Johannes G. ; He Zhenjie ; Goakey Shannon ; Baker Richard W., Process for recovering semiconductor industry cleaning compounds.
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  27. Anumakonda Amar ; Gaita Romulus ; Yates Stephen ; Zhou Jim, Process for recovering sulfur hexafluoride.
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  28. Yates Stephen Frederic ; Gaita Romulus ; Ramachandra Amar ; Morrell Robert, Process for recovering sulfur hexafluoride.
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  29. Choe Jung S. (Allentown PA) Auvil Steven R. (Macungie PA) Agrawal Rakesh (Allentown PA), Process for separating components of a gas stream.
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  30. Makino Hiroshi (Ichihara JPX) Kusuki Yoshihiro (Ichihara JPX) Harada Takashi (Ichihara JPX) Shimazaki Hiroshi (Ichihara JPX) Isida Tosio (Ichihara JPX), Production of aromatic polyimide separating membranes.
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  31. Tamhankar Satish S. (Scotch Plains NJ) Ramachandran Ramakrishnan (Allendale NJ) Blow Martin (Basking Ridge NJ) Galica Theodore R. (Glen Gardner NJ), Removal of perfluorocarbons from gas streams.
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  32. Browall Warella R. (Scotia NY), Ultrathin polyetherimide membrane and gas separation process.
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이 특허를 인용한 특허 (12)

  1. Nakamura, Morimitsu; Kawai, Masato, Gas purifier apparatus and method for gas purification.
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  2. Abe, Tetsuya; Tanzawa, Sadamitsu; Hiroki, Seiji; Tajima, Yoshinori; Futatsuki, Takashi, Gas separation apparatus.
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  3. Abe, Tetsuya; Tanzawa, Sadamitsu; Hiroki, Seiji; Tajima, Yoshinori; Futatsuki, Takashi, Gas separation apparatus.
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  4. Tajima, Yoshinori; Futatsuki, Takashi, Gas separation apparatus and gas separation method.
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  5. Pittroff, Michael; Schwarze, Thomas; Belt, Heinz-Joachim, Isolation of SF6 from insulating gases in gas-insulated lines.
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  6. Horiba,Minako; Suzuki,Yasuhiro, Process for purifying octafluoropropane.
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  7. Ralph Newton Miller ; Chien-Ping Chai Kao ; Barry Asher Mahler, Process for purifying perfluorinated products.
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  8. Park, Yong Chul; Jeong, Woo Sik; Hyun, Kwang Chul; Lee, Jang Won; Kwon, Ik Hyeon, Process for refining nitrogen trifluoride gas using alkali earth metal exchanged and impregnated zeolite.
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  9. Park, Yong-Chul; Jeong, Woo-Sik; Hyun, Kwang-Chul; Lee, Jang-Won; Kwon, Ik-Hyeon, Process for refining nitrogen trifluoride gas using alkali earth metal exchanged zeolite.
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  10. Krouse, Steven Arnold; Chodur, John, Purification of hexafluoro-1,3-butadiene.
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  11. Nel, Johannes Theodorus; Van Der Walt, Izak Jacobus; Grunenberg, Alfred Teo; Bruinsma, Odolphus Simon Leo; Le Roux, Marco; Krieg, Henning Manfred; Marx, Sanette, Recovery of a gaseous component from a mixture of gaseous compounds.
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  12. Henderson, Philip Bruce; Golden, Timothy Christopher, Separation of C2F6 from CF4 by adsorption on activated carbon.
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