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Apparatus and method for sealing a vacuum chamber

국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-014/00
출원번호 US-0411717 (1999-10-02)
발명자 / 주소
  • Chang Hao-Wei,TWX
  • Fang Jen-Shang,TWX
  • Hung Ching-Kun,TWX
출원인 / 주소
  • Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd, TWX
대리인 / 주소
    Tung & Associates
인용정보 피인용 횟수 : 11  인용 특허 : 2

초록

An apparatus and a method for sealingly engaging an upper chamber lid and a lower chamber lid of a vacuum process chamber together without leakage are provided. In the apparatus, an upper chamber lid is connected to a support frame by an universal joint such that a perfect alignment between the uppe

대표청구항

[The embodiment of the invention in which an exclusive property or privilege is claimed are defined as follows:] [1.]an upper lid support frame adapted for mounting top ends of spaced apart compressible spring members at four corners and a top end of a universal joint member at a center,an upper lid

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. Bird Harry L. (Red Hook NY) Sutherland David T. (Woodstock NY), Adjustable door arrangement for a vacuum chamber.
  2. Miyazaki Yoshihiko (Numazu JPX) Goto Taizan (Numazu JPX) Komiyama Yoshizo (Gotenba JPX) Iwata Kotei (Gotenba JPX), Epitaxial growing apparatus.

이 특허를 인용한 특허 (11)

  1. Miyahara, Takahide; Morita, Takeshi; Miyazaki, Kentaro, Apparatus and method for manufacturing display device.
  2. Chu, Xinsheng; Kang, Ming-Du, Cassette optimized for an inline annealing system.
  3. Chae, Yongkee; Fu, Jianming, Chemical vapor deposition tool and process for fabrication of photovoltaic structures.
  4. Trujillo, Robert T.; Beese, Steven C.; Rozenzon, Yan, Dynamic support system for quartz process chamber.
  5. Heng, Jiunn Benjamin; Xiao, Chunguang; Yan, Dongzhi; Zhou, Jiansheng; Huang, Zhiquan; Xu, Zheng, Method for improving solar cell manufacturing yield.
  6. Rosenstein, Michael; Shenderovich, Alex; Schweitzer, Marc O.; Lavitsky, Ilya; Lau, Alvin; Feltsman, Michael, Motorized chamber lid.
  7. Rosenstein,Michael; Shenderovich,Alex; Schweitzer,Marc O.; Lavitsky,Ilya; Lau,Alvin; Feltsman,Michael, Motorized chamber lid.
  8. Rozenzon, Yan; Trujillo, Robert T.; Beese, Steven C., Multi-channel gas-delivery system.
  9. Zajac, Piotr, System and method for curing conductive paste using induction heating.
  10. Sung, Edward; Zu-Yi Liu, James, Systems, method and apparatus for curing conductive paste.
  11. Sung, Edward; Zu-Yi Liu, James, Systems, method and apparatus for curing conductive paste.
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