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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0974512 (1997-11-19) |
우선권정보 | JP0289133 (1997-10-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 18 인용 특허 : 6 |
A compact vaporizer system is presented to produce a high quality vapor feed from a liquid feed to be delivered to a chemical vapor deposition processing chamber to produce thin film devices based on highly dielectric or ferroelectric materials such as BaTiO.sub.3, SrTiO.sub.3 and others such materi
[What is claimed is:] [1.]a liquid feed delivery path for conveying a liquid feed;a vaporization prevention component at said liquid feed delivery path for preventing vaporization of the liquid feed conveyed through said liquid feed delivery path;a vaporization path downstream of said liquid feed de
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