$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Environment controlled WIP cart

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F25B-021/02
출원번호 US-0417257 (1999-10-12)
발명자 / 주소
  • Tannous Adel G.
  • Lewis Paul E.
출원인 / 주소
  • AlliedSignal Inc.
대리인 / 주소
    Skjerven Morrill MacPherson LLP
인용정보 피인용 횟수 : 17  인용 특허 : 6

초록

A transportable cart assembly is described which controls various environmental conditions within an enclosure while transporting items such as semiconductor wafers or flat panel displays. A fan and filter unit is used to control the spread of small particles within the cart and a heating and coolin

대표청구항

[We claim:] [1.]a frame, further comprising a plurality of inter-connected members;a plurality of wheels supporting said frame;a plurality of panels mounted on said frame such that said panels and said frame form an insulated enclosure;a plurality of platform members attached to said frame and dispo

이 특허에 인용된 특허 (6)

  1. Maier-Laxhuber Peter (Unterschleissheim DEX) Engelhardt Reiner (Mnchen DEX) Wrz Reiner (Mnchen DEX) Becky Andreas (Mnchen DEX), Cooling system having a vacuum tight steam operating manifold.
  2. Williams William J. (Indianapolis IN), Detection of a gas leaked into a liquid which has been sampled from a plurality of spaces.
  3. Violi Jean-Charles,FRX ; Violi Raymond,FRX ; Ferbus Jean-Francois,FRX, Device for institutional distribution of meals.
  4. Spanoudis Louis (Toledo OH), Gas temperature and flow control system.
  5. Robertson William M. (Lewisville TX) Sharp ; III Charles A. (Garland TX) Burke Edward J. (Plano TX), Transporter unit with communication media environmental storage modules.
  6. Meier Herman (Littau CHX) Witzig Martin (Horgen CHX), Tray transport cart having electromagnetic induction heaters for heating meals to be placed on the trays.

이 특허를 인용한 특허 (17)

  1. Puri,Amitabh; Duffin,David; Englhardt,Eric A., Method and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities.
  2. Choi, Soo Young; Park, Beom Soo; Shang, Quanyuan; Greene, Robert I.; White, John M.; Yim, Dong-Kil; Park, Chung-Hee; Law, Kam, Method for supporting a glass substrate to improve uniform deposition thickness.
  3. Brill,Todd J.; Teferra,Michael; Hudgens,Jeffrey C.; Puri,Amitabh, Methods and apparatus for electronic device manufacturing system monitoring and control.
  4. Teferra, Michael; Puri, Amitabh; Englhardt, Eric, Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers.
  5. Teferra, Michael; Puri, Amitabh; Englhardt, Eric, Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers.
  6. Puri, Amitabh; Duffin, David; Englhardt, Eric A., Methods and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities.
  7. Duffin, David C.; Jessop, Daniel R.; Teferra, Michael; Puri, Amitabh; Warner, Glade L., Methods and apparatus for material control system interface.
  8. Duffin, David C.; Jessop, Daniel R.; Teferra, Michael; Puri, Amitabh; Warner, Glade L., Methods and apparatus for material control system interface.
  9. Duffin,David C.; Jessop,Daniel R.; Teferra,Michael; Puri,Amitabh; Warner,Glade L., Methods and apparatus for material control system interface.
  10. Brill, Todd J.; Teferra, Michael; Puri, Amitabh; Jessop, Daniel R.; Warner, Glade L.; Duffin, David C., Methods and apparatus for transferring a substrate carrier within an electronic device manufacturing facility.
  11. Brill,Todd J.; Teferra,Michael; Puri,Amitabh; Jessop,Daniel R.; Warner,Glade L.; Duffin,David C., Methods and apparatus for transferring a substrate carrier within an electronic device manufacturing facility.
  12. Choi, Soo Young; Park, Beom Soo; Shang, Quanyuan; White, John M.; Yim, Dong-Kil; Park, Chung-Hee, Reducing electrostatic charge by roughening the susceptor.
  13. Jafa, Emad; Ribeiro, Antonio Jose Fernandes; Montero, José Roberto; Gutierrez, Jose Miguel; Santamaria, Jose Alfonso Gonzalez; Garcia, Edith Nancy Treviño; Guadarrama, Rodrigo; Acero, César Eduardo Avendaño; Zaleta, Dimas Alberto Diaz, Refrigerated merchandise display system.
  14. Cheng, Lin, Reticle box transport cart.
  15. Englhardt, Eric Andrew; Shah, Vinay, Small lot size lithography bays.
  16. Rice, Michael R.; Englhardt, Eric A.; Shah, Vinay; Elliott, Martin R.; Lowrance, Robert B.; Hudgens, Jeffrey C., Systems and methods for transferring small lot size substrate carriers between processing tools.
  17. Rice,Michael R.; Englhardt,Eric A.; Shah,Vinay; Elliott,Martin R.; Lowrance,Robert B.; Hudgens,Jeffrey C., Systems and methods for transferring small lot size substrate carriers between processing tools.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트