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특허 상세정보

Clean box, clean transfer method and apparatus therefor

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B65G-049/00   
미국특허분류(USC) 141/098 ; 141/063 ; 141/348 ; 220/212 ; 220/240 ; 215/270
출원번호 US-0294006 (1999-04-19)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 27  인용 특허 : 6
초록

Using a clean box comprising a box body having an aperture in one side surface, a side lid for hermetically closing the aperture, and gas inlet and outlet valves provided in the box body and having neither an evacuation device nor a transfer device, the gas inlet and outlet valves are opened by a gas feeding/discharging mechanism in a state in which the aperture of the box body is closed by the side lid, a non-oxidizing gas is introduced through one of the gas inlet and outlet valves into the clean box, and a gas having filled the clean box before the in...

대표
청구항

[What is claimed is:] [1.]providing a clean box comprising a box body having an aperture in one surface, a lid configured to close said aperture hermetically, a gas inlet valve and a gas outlet valve provided in said box body, and a groove formed between said box body and said lid such that a suction space surrounding said aperture is formed when said clean box is closed by said lid;opening said gas inlet valve and said gas outlet valve when said aperture of said clean box is closed by said lid;introducing a non-oxidizing gas through said gas inlet valve...

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 27

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  4. Miyajima, Toshihiko; Okabe, Tsutomu. Clean box, clean transfer method and system. USP2004096796763.
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