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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0568845 (1995-12-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 195 인용 특허 : 44 |
A micromechanical capacitive accelerometer is provided from a single silicon wafer. The basic structure of the micromechanical accelerometer is etched in the wafer to form a released portion in the substrate, and the released and remaining portions of the substrate are coated with metal under condit
[What is claimed is:] [1.]an accelerometer for producing a continuous output signal in response to sensed acceleration vectors, said accelerometer including at least two capacitively-coupled fingers, at least one of said fingers moves relative to another finger in response to said acceleration vecto
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