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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0201273 (1998-11-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 12 |
A system for supplying a slurry of a liquid containing suspended particles to a semiconductor processing machine, where the slurry is used in processing semiconductor wafers, is disclosed. The system includes a supply of slurry and a delivery subsystem operatively associated with the supply of slurr
[We claim:] [11.]a supply of slurry;a basin configured to hold slurry, the basin including a drain configured to allow slurry to flow from the basin;an inflow conduit extending from the supply to the basin, the inflow conduit being configured to direct slurry from the supply to the basin; andan outf
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