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Method for producing a monocrystalline layer of a conducting or semiconducting material 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C30B-001/02
출원번호 US-0235018 (1999-01-21)
우선권정보 DE9802131 (1998-01-21)
발명자 / 주소
  • Laermer Franz,DEX
  • Frey Wilhelm,DEX
출원인 / 주소
  • Robert Bosch GmbH, DEX
대리인 / 주소
    Kenyon & Kenyon
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 9

초록

To produce monocrystalline layers of conducting or semiconducting materials on porous monocrystalline layers of the same material in a reproducible and time-saving manner, a method is provided which involves applying an amorphous layer of the same material to the porous material and converting the a

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.]1. A method for producing a first monocrystalline layer of a particular material, the particular material being one of a conducting material and a semi-conducting material, the method comprising the steps of:providing a second porous monocrystalline layer composed of the p

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. Hara Masaki (Kanagawa JPX) Sano Naoki (Kanagawa JPX) Sameshima Toshiyuki (Kanagawa JPX) Kohno Atsushi (Kanagawa JPX) Sekiya Mitsunobu (Kanagawa JPX) Kanaya Yasuhiro (Kanagawa JPX) Yano Michihisa (Kan, Method and apparatus for fabricating a thin film semiconductor device.
  2. Bertagnolli Emmerich (Munich DEX) Kabza Herbert (Munich DEX), Method for manufacturing a polycrystalline layer on a substrate.
  3. Sato Nobuhiko,JPX ; Yonehara Takao,JPX ; Sakaguchi Kiyofumi,JPX, Method for producing semiconductor substrate.
  4. Noguchi Shigeru (Hirakata JPX) Sano Keiichi (Moriguchi JPX) Iwata Hiroshi (Neyagawa JPX), Method of forming crystalline silicon film and solar cell obtained thereby.
  5. Weimer Ronald A. (Boise ID) Kepten Avishai (Beit H\Cerem ILX) Sendler Michael (Migdal Ha\emek ILX), Method of forming polysilicon having a desired surface roughness.
  6. Hodge Alison M. (Worcestershire GB2) Keen John M. (Worcestershire GB2), Method of making silicon-on-porous-silicon by ion implantation.
  7. Sakaguchi Kiyofumi (Atsugi JPX) Yonehara Takao (Atsugi JPX), Method of producing semiconductor substrate.
  8. Sakaguchi Kiyofumi,JPX ; Yonehara Takao,JPX, Process for production of semiconductor substrate.
  9. Sakaguchi Kiyofumi (Atsugi JPX) Yonehara Takao (Atsugi JPX), Semiconductor device substrate and process for preparing the same.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. DeSouza, Joel P.; Fogel, Keith E.; Reznicek, Alexander; Sadana, Devendra, Formation of SOI by oxidation of silicon with engineered porosity gradient.
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