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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0203464 (1998-12-02) |
우선권정보 | JP0161210 (1998-06-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 17 인용 특허 : 2 |
A method and apparatus for solid bonding without using a bonding agent are provided. A surface of metal, glass, or other bond members 16a and 16b is fluorinated by exposure to a mixture of HF gas from a HF gas supply unit 24 and water vapor from a vapor generator 26 in a fluorination process section
[ What is claimed is:] [1.]1. A solid bonding method comprising the steps of:providing a first bond member of a first material selected from the group consisting of a metal, semiconductor, ceramic, glass, and alumina;providing a second bond member of a second material selected from the group consist
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