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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0193337 (1998-11-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 188 인용 특허 : 5 |
An apparatus, method, and computer program product for detection of fluid leakage through a membrane in a fluid flow control system. The fluid flow control system has a first chamber and a second chamber. A membrane is disposed between the first chamber and the second chamber. The second chamber has
[ What is claimed is:] [1.]1. A method for detecting a leakage rate of fluid through a membrane in a fluid flow control system having a first chamber and a second chamber, the membrane being disposed between the first chamber and the second chamber, the second chamber having a connection to a pressu
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