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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0252023 (1999-02-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 12 |
A semiconductor manufacturing system includes a getter-based gas purifier coupled in flow communication with a gas distribution network for a semiconductor fabrication facility. The gas distribution network supplies purified gas to at least one wafer processing chamber in the semiconductor fabricati
[ What is claimed is:] [1.]1. A method of making an integrated circuit device, comprising:purifying a gas in a getter-based gas purifier to obtain a purified gas, said gas purifier comprising:a getter column having a metallic vessel with an inlet, an outlet, and a containment wall extending between
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