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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0261483 (1999-02-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 22 인용 특허 : 28 |
MEMS structures are provided that compensate for ambient temperature changes, process variations, and the like, and can be employed in many applications. These structures include an active microactuator adapted for thermal actuation to move in response to the active alteration of its temperature. Th
[ That which is claimed:] [1.]1. A temperature compensated microelectromechanical structure, comprising:a microelectronic substrate having a first major surface;a temperature compensation microactuator, disposed upon the first major surface of said microelectronic substrate and configured to move a
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