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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0415621 (1999-10-12) |
우선권정보 | JP0290525 (1998-10-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 54 인용 특허 : 7 |
Impure portions such as air bubbles and gelled portions in a liquid are removed so that the liquid can be discharged with improved cleanliness. Under condition that a return flow path and a liquid discharge flow path are closed, a pump chamber is expanded, thereby sucking the liquid in a liquid cont
[ What is claimed is:] [1.]1. A chemical liquid supply method using a chemical liquid supply apparatus including a filter communicating with a liquid container portion through a liquid introducing flow path connected to a filter inlet, a pump having a pump chamber which is connected to a filter outl
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