최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0293012 (1999-04-16) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 61 인용 특허 : 16 |
A compliant wafer chuck for supporting a substrate in which an upper body of the chuck is allowed to tilt relative to the base.
[ I claim:] [1.]1. An apparatus for supporting a substrate thereon comprising:a base having a rigid frame for forming a lower portion of a chuck;an upper body residing atop said base for having the substrate reside on its surface, but in which said upper body is coupled flexibly to said base to allo
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.