최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0347956 (1999-07-06) |
발명자 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 18 인용 특허 : 7 |
Disclosed is a wafer handling and testing apparatus. The wafer handling and testing apparatus includes a support assembly, a wafer handling assembly, and a probe assembly. The support assembly is capable of supporting a wafer to be tested and is also capable of rotating the wafer for testing. The wa
[ What is claimed is:] [1.]1. A wafer handling and testing apparatus comprising:a support assembly capable of supporting a wafer to be tested, the support assembly also being capable of rotating the wafer for testing;a wafer handling assembly arranged to move the wafer to and from the support assemb
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.