$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Automatic semiconductor wafer applying apparatus 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B23P-023/06
출원번호 US-0198489 (1998-11-24)
우선권정보 JP0336971 (1997-12-08)
발명자 / 주소
  • Matsushita Takao,JPX
  • Kuroda Shigeji,JPX
  • Ide Yoshinobu,JPX
출원인 / 주소
  • Nitto Denko Corporation, JPX
대리인 / 주소
    Arent Fox Kintner Plotkin & Kahn
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 23

초록

Disclosed is an automatic semiconductor wafer applying apparatus capable of lightly easily stacking and loading ring frames onto a frame supply section. This apparatus has the following construction. An adhesive tape unwound from a tape roll is applied to a lower surface of the ring frame supplied t

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.]1. An automatic semiconductor wafer applying apparatus for applying a semiconductor wafer to a ring frame through an adhesive tape, said apparatus comprising:a frame supply truck movable with ring frames stacked and held thereon;a frame supply section having a bay sized an

이 특허에 인용된 특허 (23)

  1. Sato Akira,JPX, Apparatus and method of automatically removing a wafer carrier from a container.
  2. Off Joseph W. A. (Irving TX) Early Judson H. (Dallas TX) Roady Daniel K. (Dallas TX) Thayer Theodore B. (Dallas TX), Apparatus for adhesive strip application.
  3. Helgeland Walter (Lexington MA) Teverovsky Alex (Concord MA) Kerwin ; II Kenneth H. (Londonderry NH) Chartier Carl P. (Danvers MA), Apparatus for and method of handling crystals from crystal-growing furnaces.
  4. Ametani Minoru (Osaka JPX), Apparatus for applying and removing protective adhesive tape to/from semiconductor wafer surfaces.
  5. Matsumiya Ritsuo (Omiya JPX) Osawa Mitsuaki (Omiya JPX), Apparatus for applying photo resist on both surfaces of semiconductor wafer.
  6. Fan Jackley,TWX, CD-ROM testing apparatus.
  7. Urban Ernst-Gunther,DEX, Coiling machine with adhesive strip applicator.
  8. Kitamura Naoyuki,JPX ; Hirai Wataru,JPX ; Yoshida Noriaki,JPX, Component mounting apparatus.
  9. Leichty Deryll L. (Berne IN) Reinhart Dave P. (Portland IN) Youngblutt Thomas W. (Brighton MI), Dunnage handling system.
  10. Bonora Anthony C. (Menlo Park CA) Richardson Bruce A. (Pleasanton CA) Brain Michael D. (San Jose CA) Cortez Edward J. (San Jose CA) Huang Barney H. (Sunnyvale CA), Human guided mobile loader stocker.
  11. Dumler Richard C. (Breckenridge MI) Stavely Matthew J. (Saginaw MI), Low-contaminate work surface for processing semiconductor grade silicon.
  12. Ichikawa Shigeru (Tokyo JPX), Magazine carrying apparatus.
  13. Yoshimura Yoshitaka (Kitakatsuragi JPX) Oura Yasuhiro (Sakurai JPX), Method and apparatus for applying a protective tape on a wafer and cutting it out to shape.
  14. Cheng David, Method and apparatus for loading and unloading wafers from a wafer carrier.
  15. Kuroda Shigeji,JPX ; Matsushita Takao,JPX ; Miyamoto Saburo,JPX, Method and apparatus for peeling protective adhesive tape from semiconductor wafer.
  16. Bonora Anthony C. ; Neads Michael A. ; Oen Joshua T., Method and apparatus for vertical transfer of a semiconductor wafer cassette.
  17. Ametani Minoru (Osaka JPX), Process for peeling protective film off a thin article.
  18. Funakoshi Keigo (Ibaraki JPX) Nomura Kozo (Ibaraki JPX) Ametani Minoru (Ibaraki JPX) Ohnishi Kenji (Ibaraki JPX), Process for peeling protective film off a thin article.
  19. Engelking Steven, Self-levelling wafer-lot cart.
  20. Stimson William C. (Phoenix AZ), Semiconductor wafer cassette handling cart.
  21. Nonaka Yuzo (Chiba JPX), Semiconductor wafer mounting and cutting system.
  22. Nakamura Osamu,JPX ; Ichikawa Shigeru,JPX ; Arai Tsuneharu,JPX, Wafer ring supply and return device.
  23. Nakamura Osamu,JPX ; Ichikawa Shigeru,JPX ; Arai Tsuneharu,JPX, Wafer ring supply and return device.

이 특허를 인용한 특허 (6)

  1. Ishii, Naoki; Yamamoto, Masayuki, Adhesive tape joining apparatus.
  2. Park, Jun-Kyu; Shin, Sang-Mun; Park, Gweon-Young; Lee, Byung-Chul, Apparatus for mounting electronic parts.
  3. Park, Jun-Kyu; Shin, Sang-Mun; Park, Gweon-Young; Lee, Byung-Chul, Method for mounting electronic parts.
  4. Ametani, Minoru, Wafer processing apparatus.
  5. Hosaka, Hideki, Wafer-related data management method and wafer-related data creation device.
  6. Kawashima,Isamu; Sato,Hideshi; Kino,Hideo; Ametani,Minoru, Workpiece processing device.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로