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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0458531 (1999-12-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 146 인용 특허 : 10 |
An improved fin device used as the body of a field effect transistor ("FET") and an improved process of making the fin device. The fin device allows for the fabrication of very small dimensioned metal-oxide semiconductor ("MOS") FETs in the size range of micrometers to nanometers, while avoiding the
[ What is claimed is:] [1.]1. A planarized fin device, comprising:a substrate;a vertical fin formed on a portion of the substrate, leaving a remaining portion of the substrate exposed;an oxide layer covering the fin and the exposed substrate;a source and drain formed on top of the oxide layer;a poly
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