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특허 상세정보

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Method of making a tubular member for optical fiber production using plasma outside vapor deposition

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) C03B-037/013   
미국특허분류(USC) 653/91 ; 605/426 ; 605/421
출원번호 US-0994970 (1997-12-19)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Patton Boggs LLP
인용정보 피인용 횟수 : 13  인용 특허 : 14
초록
▼

An apparatus and method for producing a tubular member, which is suitable for use as a starter tube or an optical fiber preform, on a rotating cylindrical target mounted on a lathe. The tubular member is made by means of plasma outside vapor deposition. In this process, a source gas comprising SiCl.sub.4 and, optionally, a fluorine-laden chemical, is introduced into an air plasma. Both the air and the source gas are dry gases and have low hydroxyl content. The air plasma is created by a high-frequency induction plasma torch which travels along the length...

대표
청구항
▼

[ What is claimed is:] [1.]1. A method for forming a substantially pure silica glass starter tube on a graphite target, the starter tube having a purity and index of refraction suitable for use in optical fiber formation, said method comprising steps of:providing a high frequency induction plasma torch comprising a coil, said induction plasma torch being selectively positionable along a length of said target, a spacing of 30-35 mm separating the target from said coil;introducing a plasma gas consisting essentially of a gas from a group consisting of (air...

이 특허에 인용된 특허 (14)

  1. Dorfman Veniamin (8 Norman Dr. Shoreham NY 11786) Pypkin Boris (Moscow RUX). Diamond-like metallic nanocomposites. USP1995115466431.
  2. Partus Fred P. (Atlanta GA) Thomas Gordon A. (Princeton NJ). MCVD method of making a low OH fiber preform with a hydrogen-free heat source. USP1995035397372.
  3. Fleming ; Jr. James W. (Westfield NJ) Partus Fred P. (Atlanta GA). Method for manufacturing an article comprising a refractory dielectric body. USP1991035000771.
  4. Izawa Tatsuo (Musashino JPX) Kuwabara Toru (Yokohama JPX) Masuda Yuichi (Yokohama JPX) Kameo Yuji (Yokohama JPX). Method for manufacturing an optical fiber preform. USP1980094224046.
  5. Leber Helmut (Hanau DEX) Whippey Nigel R. (Seligenstadt DEX). Method for the continuous production of a tube or rod of vitreous fused silica. USP1990054923497.
  6. Drouart Alain (Nanterre FRX) Gouez Benoit (Colombes FRX) Jouvenel Bernard (Bures sur Yvette FRX) Lumineau Yves (Eragny sur Oise FRX) Matau Max (Villeneuve la Garenne FRX) Ripoche Pierre (Pithiviers F. Method of building up an optical fiber preform by plasma deposition, and an optical fiber obtained from the preform buil. USP1996055522007.
  7. Miller Thomas J. (Alpharetta GA). Method of making fiber optical preform with pyrolytic coated mandrel. USP1991125076824.
  8. Partus Fred P. (Marietta GA). Method of making optical waveguide fiber preform starter tubes. USP1983114412853.
  9. Yokokawa Kiyoshi,JPX. Method of producing quartz glass body. USP1998065769921.
  10. Rau Karlheinz (Hanau DE) Simmat Fritz (Gelnhausen DE) Muhlich Albert (Frankfurt DE) Treber Norbert (Kriftel DE). Method of producing synthetic quartz glass, apparatus for the practice of the method, and use of the synthetic quartz gl. USP1979074162908.
  11. Partus Fred Paul (Atlanta GA) Thomas Gordon Albert (Princeton NJ) Atkins Robert Michael (Millington NJ) Fleming ; Jr. James William (Westfield NJ). Optical fiber with low OH impurity and communication system using the optical fiber. USP1997115692087.
  12. Lebert Helmut (Hanau DEX) Whippey Nigel R. (Seligenstadt DEX). Process for manufacturing quartz glass pipes having a high content of silica with only minor diameter deviations. USP1991065026413.
  13. Edahiro Takao (Mito JPX) Kurosaki Shiro (Kanagawa JPX) Watanabe Minoru (Kanagawa JPX). Process for preparing glass preform for optical fiber. USP1983094402720.
  14. Heitmann Walter (Gross-Bieberau DEX). Process of producing preforms for silica glass optical waveguides while flowing gas through a tubular substrate. USP1997035609666.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 13

  1. Otosaka, Tetsuya; Shimizu, Yoshiaki. Apparatus for fabricating an optical fiber. USP2012128322165.
  2. Milicevic, Igor; Van Stralen, Mattheus Jacobus Nicolaas; Krabshuis, Gertjan; Hartsuiker, Johannes Antoon. Method for etching a primary preform. USP2018069994480.
  3. Guskov, Mikhail I.; Danilov, Eugenie B.; Hammerle, Wolfgang; Aslami, Mohd A.; Wu, Dau. Method for making optical fiber preform using simultaneous inside and outside deposition. USP2004086769275.
  4. Simons, Dennis Robert; Terpsma, Jelle Philip; Gooijer, Frans. Method for manufacturing a preform for optical fibres. USP2011088006518.
  5. Huenermann, Michael. Method for producing a hollow cylinder of synthetic quartz glass, and thickwalled hollow cylinder obtained according to the method. USP2012118316671.
  6. Schötz, Gerhard; Bräuer, Karsten; Fabian, Heinz; Treber, Norbert. Method for the production of a blank mold for optical fibers. USP2010057716952.
  7. Simons, Dennis Robert; Terpsma, Jelle Philip; Gooijer, Frans. Method of manufacturing an optical fibre preform. USP2013078484996.
  8. Gouskov, Mikhail I.; Danilov, Evguenie B.; Aslami, Mohd A.; Wu, Dau. Multiple torch—multiple target method and apparatus for plasma outside chemical vapor deposition. USP2004096793775.
  9. Ohga,Yuichi; Onishi,Masashi; Kasuu,Osamu; Kato,Shuichiro; Adachi,Toru; Sasaki,Takashi; Hirano,Masaaki. Optical fiber and manufacturing method thereof. USP2009027486862.
  10. Aslami, Mohd A.; Wu, Dau; Charles, DeLuca. Plasma deposition apparatus and method for making polycrystalline silicon. USP2010107816269.
  11. Guskov, Mikhail I.; Aslami, Mohd A.; Wu, Dau. Plasma torch for making synthetic silica. USP2011017861557.
  12. Bookbinder, Dana Craig; LeBlond, Nicolas; Young, Judith Eileen. Process for preparing an optical preform. USP2014088815103.
  13. Schoetz, Gerhard; Braeuer, Karsten; Vydra, Jan. Quartz glass tube as a semifinished product for preform and fiber manufacture, and method for making the quartz glass tube. USP2013108544299.

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