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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0382309 (1999-08-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 15 인용 특허 : 21 |
An assembly includes a temperature sensor having an operating range that includes a normal operating temperature of a cryogenic vacuum pump and a temperature of the pump following a dump. The assembly may be included in a semiconductor processing apparatus for performing an implant operation on a wa
[ What is claimed is:] [1.]1. An assembly comprising:a cryogenic vacuum pump:a temperature sensor having an operating range that includes a normal operating temperature of the cryogenic vacuum pump and a temperature of the pump following a dump; anda mounting bracket capable of mounting the temperat
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