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특허 상세정보

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Combination CVI/CVD and heat treat susceptor lid

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) F27D-001/18   
미국특허분류(USC) 432/250 ; 432/237 ; 118/715
출원번호 US-0586220 (2000-06-02)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Leffel
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 18
초록
▼

The invention relates to a susceptor lid for use in a CVI/CVD furnace. More specifically, the invention is directed to a lid configured to consecutively run CVI/CVD and heat treatment processes without opening the furnace. The susceptor lid according to the invention comprises: a susceptor lid body having a gas exhaust hole, the susceptor lid body having a top surface and a bottom surface; and an exhaust lid disposed over the gas exhaust hole, with a clearance between the exhaust lid and the gas exhaust hole such that exhaust gas pressure within the clea...

대표
청구항
▼

[ What is claimed is:] [1.]1. A combined heat treat and CVI/CVD susceptor lid for a furnace susceptor, which allows exhaust gas to exit therefrom, comprising:a susceptor lid body having a gas exhaust hole, said susceptor lid body having a top surface and a bottom surface; and,an exhaust lid disposed over said gas exhaust hole, with a clearance between said exhaust lid and said gas exhaust hole such that exhaust gas pressure within said clearance is approximately equal to, or less that the exhaust gas pressure within said gas exhaust hole, said exhaust li...

이 특허에 인용된 특허 (18)

  1. Bessot Jean-Jacques (Arpajon FRX) Bourdon Bernard (Gometz le Chatel FRX). Apparatus for chemically activated deposition in a plasma. USP1983124422407.
  2. Rudolph James W. (Colorado Springs CO) Purdy Mark J. (Akron OH) Bok Lowell D. (Anna OH). Apparatus for use with CVI/CVD processes. USP1996015480678.
  3. Simson Morris (Framingham MA) Fabricius John H. (Westford MA) Browne Ronnie (Derry NH) Waugh Arthur (Winchester MA) Sarkozy Robert F. (Westford MA) Lai Chiu K. S. (Wellesley MA). Cross-flow diffusion furnace. USP1989084854266.
  4. Penfold Alan S. (Playa del Ray CA) Thornton John A. (Los Angeles CA). Electrode type glow discharge apparatus. USP1976113995187.
  5. Penfold Alan S. (Playa del Rey CA) Thornton John A. (Los Angeles CA). Electrode type glow discharge apparatus. USP1977064031424.
  6. Penfold Alan S. (Playa del Rey CA) Thornton John A. (Los Angeles CA). Electrode type glow discharge method and apparatus. USP1977064030996.
  7. Bergman Carl (Vsters SEX) Ohlsson Lars (Helsingborg SEX). Hot-isostatic high-pressure press. USP1992065118289.
  8. Conroy Michael D. ; Johnson Jay A. ; Cybulski Claude E. ; Cybulski Eric R.. Kiln lid mounting assembly. USP1999065910006.
  9. Watanabe Misuzu (Kawasaki JPX). Method for carbon film production. USP1991125073241.
  10. Nuutinen Pekka (Kontiolahti FIX). Method of modifying masonry furnace by inserting electric heating elements through furnace top cover. USP1994125377297.
  11. Harris Robert G. (Montreal CAX). Microwave, a closed vessel and methods of determining volatile material content. USP1986084606650.
  12. Sarkozy Robert F. (Westford MA). Modular V-CVD diffusion furnace. USP1986034573431.
  13. Poris Jaime (Los Gatos CA). Precision weighing to monitor the thickness and uniformity of deposited or etched thin film. USP1997045625170.
  14. Rudolph James W. ; Purdy Mark J.. Pressure gradient CVI/CVD apparatus process and product. USP1998125853485.
  15. Rudolph James W. ; Purdy Mark J.. Pressure gradient CVI/CVD apparatus, process and product. USP1999055900297.
  16. Sekiya Isao (Numazu JPX). Rotary barrel type induction vapor-phase growing apparatus. USP1988124794220.
  17. Dickey Eric R. (Northfield MN) Bjornard Erik J. (Northfield MN). Shielding for arc suppression in rotating magnetron sputtering systems. USP1995115470452.
  18. Dickey Eric R. ; Bjornard Erik J.. Shielding for arc suppression in rotating magnetron sputtering systems. USP1998035725746.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 7

  1. Jonnalagadda, Rajanikant; Miller, Brian J.. Gas port sealing for CVD/CVI furnace hearth plates. USP2005016846514.
  2. Jonnalagadda, Rajanikant; Miller, Brian J.. Gas port sealing for CVD/CVI furnace hearth plates. USP2004076758909.
  3. Roger A. Ross ; Patrick C. Trujillo ; Robert Fiala. Method and apparatus for pressure measurement in a CVI/CVD furnace. USP2002056383298.
  4. Nakamura, Shuji; DenBaars, Steven; Batres, Max; Coulter, Michael. Susceptor apparatus for inverted type MOCVD reactor. USP2013028366830.
  5. Nakamura, Shuji; DenBaars, Steven; Batres, Max; Coulter, Michael. Susceptor for MOCVD reactor. USP2013028372204.
  6. Nakamura,Shuji; DenBaars,Steven; Batres,Max; Coulter,Michael. Susceptor for MOCVD reactor. USP2006107122844.
  7. She, Ying; St. Rock, Brian. System and method for enhancing a diffusion limited CVI/CVD process. USP20181110131985.

IPC 상위 출원인