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Bulk chemical delivery system 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F17C-013/00
출원번호 US-0327843 (1999-06-08)
발명자 / 주소
  • Noah Craig M.
  • Gregg John N.
  • Jackson Robert M.
  • Esser Craig
출원인 / 주소
  • Advanced Technology Materials, Inc.
대리인 / 주소
    O'Keefe
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 35

초록 ▼

A bulk chemical delivery system, that includes a cabinet that houses a delivery system. The delivery system may include a canister within the cabinet that is connected to a manifold within the cabinet that includes at least one output line for providing chemical from the canister outside the cabinet

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.]1. A chemical supply system, comprising:wherein the delivery system comprises:a canister within the cabinet that is connected to a manifold within the cabinet that includes at least one output line for providing chemical from the canister outside the cabinet,an input syste

이 특허에 인용된 특허 (35)

  1. Smith Dresden G. (1621 English Dr. San Jose CA 95129), Air and water volume control apparatus for hydropneumatic tanks.
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  2. Geatz Tobin (Durham NC), Apparatus and method for the transfer and delivery of high purity chemicals.
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  3. Fan Chiko (810 El Quanito Dr. Danville CA 94526) Pearson Anthony (498 Los Pinos Way San Jose CA 95123) Chen J. James (2304 Maximilian Dr. Campbell CA 95008) White ; Jr. James L. (392 Eagle Trace Half, Apparatus for fluid delivery in chemical vapor deposition systems.
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  4. Hellenberg Leendert (Warmond NLX) Mink Johannes H. (Voorhout NLX), Apparatus for metering and dispensing flowable materials to form a blended composition.
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  5. Fair David L. (Rockford IL), Bubbler container automatic refill system.
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  6. Fair David L. (Rockford IL), Bubbler container automatic refill system.
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  7. Noah Craig M. ; Gregg John N. ; Jackson Robert M. ; Esser Craig, Bulk chemical delivery system.
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  8. Siegele Stephen H. (Campbell CA) Noah Craig M. (Mountain View CA) Gregg John N. (Marble Falls TX), Bulk containers for high purity chemical delivery systems.
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  9. Lipisko Bruce A. (Carlsbad CA) Schumacher John C. (Rancho Santa Fe CA) Howard Richard E. (Escondido CA) Randke Peter T. (San Marcos CA) Sandu Adrian (La Mesa CA) Fletcher Robert E. (Vista CA) Graf Ha, Chemical refill system.
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  10. Lipisko Bruce A. (Carlsbad CA) Schumacher John C. (Rancho Santa Fe CA) Howard Richard E. (Escondido CA) Randtke Peter T. (San Marcos CA) Sandu Adrian (La Mesa CA) Fletcher Robert E. (Vista CA) Graf H, Chemical refill system.
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  11. Siegele Stephen H. (Campbell CA) Noah Craig M. (Mountain View CA) Gregg John N. (Marble Falls TX), Chemical refill system for high purity chemicals.
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  12. Quick ; Jr. Joe A. (Midland MI) Kolka Arthur A. (Essexville MI) Zahm Donald E. (Midland MI) Alexander Howard C. (Sanford MI), Computerized volumetric dispensing system.
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  13. O\Dougherty Kevin T. (Minneapolis MN), Empty drum detecting apparatus.
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  14. Hsieh Shih-yung (Apt. 4G ; 41-70 Union St. Flushing NY 11355), Fireproof cabinet system for electronic equipment.
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  15. Sawada Ryoji (Mori JPX) Yamamoto Satoshi (Mori JPX), Fluid level indicator for small watercraft.
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  16. Slaughter ; Philip E., Hand held electric heating device.
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  17. Morales Gerald A. (Simi Valley CA), Jet level sensor for fuel tanks.
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  18. McKiernan Edward (Big Prairie OH) Bailey Ronald J. (Big Prairie OH) Sigler James A. (Big Prairie OH), Level indicating in vehicle holding tanks.
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  19. Senghaas Karl A. (434 Forrest Hill San Antonio TX 78209) Senghaas Peter (334 Olney San Antonio TX 78209), Liquid level measuring apparatus.
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  20. Bongort Edgar A. (Southfield MI) Cruickshank William T. (Pontiac MI), Liquid level sensor.
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  21. Bongort Edgar A. (Southfield MI) Cruickshank William T. (Pontiac MI), Liquid level sensor.
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  22. Miyazaki Shinji (Yokohama JPX) Tsunashima Yoshitaka (Tokyo JPX), Liquid source container device.
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  23. Schumacher John C. (Oceanside CA) Lagendijk Andre (Oceanside CA), Liquid source material container and method of use for semiconductor device manufacturing.
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  24. Lew Hyok S. (7890 Oak St. Arvada CO 80005), Magnetically activated multiple switch level detector.
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  25. Yamazaki Masahiro (Yokohama JPX) Iizuka Shigeru (Yokohama JPX) Kamiya Shigemitsu (Kawasaki JPX) Oka Yoshiro (Yokohama JPX) Fujino Katsuhiro (Yokohama JPX), Method and apparatus for feeding drug liquid from hermetic returnable can.
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  26. Stellmach ; Bruno, Method and device for the coating of tablets.
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  27. Salkin Nicolas (36 Avenue de Villepreux Vaucresson - (Hauts-de-Seine) FRX), Method for the preparation of stable aqueous solutions of complexes of polyvinylpyrrolidone and of halogens and the solu.
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  28. Jones Michael E. (Barsted GB3) Kenward Andrew J. (London GB3), Method of and apparatus for packaging a beverage in a container.
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  29. Schumacher John C. (Oceanside CA) Lagendijk Andre (Oceanside CA), Method of shipping and using semiconductor liquid source materials.
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  30. Ferri ; Jr. Edward T. (Gilroy CA) Geatz J. Tobin (Durham NC), Process and apparatus for electronic control of the transfer and delivery of high purity chemicals.
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  31. Rowe ; Jr. Edward A. (North Perry OH), Process for removing undesirable substances from electrical devices.
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  32. Williams Henry L. (Oklahoma City OK), Purge air control system.
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  33. Randtke Peter T. (La Costa CA) Graf Hans-Juergen (Oceanside CA), Ultra high purity reagent container with large breakseal.
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  34. McMenamin Joseph C. (Oceanside CA), Vapor mass flow control system.
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  35. Foster Leonard W. (Richardson TX) Millis Edwin G. (Dallas TX), Vented vacuum semiconductor wafer cassette.
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이 특허를 인용한 특허 (6)

  1. Gerken, David, Control of fluid conditions in bulk fluid distribution systems.
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  2. Graves,Todd; Vondran,Martin; Benzinger,Martin, Installation for making available highly pure fine chemicals.
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  3. Wilmer, Jeffrey Alexander; Mackenzie, Daniel Kase; Lull, John Michael; Zadai, Eric A.; Walker, Michael Loren, Method and apparatus for blending process materials.
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  4. Wilmer,Jeffrey A.; McAllister,Brian Alan; Swan,Daniel A.; Sitterud,David E., Method and apparatus for blending process materials.
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  5. Hodgson,Graham; Shuttleworth,Andrew William, Method of supplying fluorine.
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  6. Chism, Richard D.; Krell, Andy, Refillable ampoule with purge capability.
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