최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0146036 (1998-09-02) |
우선권정보 | JP0287003 (1997-10-20) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 37 인용 특허 : 6 |
A charged-particle beam irradiation apparatus capable of realizing spot-scanning in which the spot of a beam parallel to the axis of incidence thereof is shifted in two axial directions within a radiation area, and having a compact and lightweight design. A pair of scanning electromagnets, that are
[ What is claimed is:] [1.]1. A charged-particle beam irradiation apparatus, comprising:a scanning field generator for generating a scanning field composed of a pair of fields effective in bending a charged-particle beam by a same angle in mutually opposite directions; anda rotator for rotating the
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.