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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0805404 (1997-02-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 84 인용 특허 : 5 |
A method of depositing material on a substrate using a shadow mask. The mask includes a plurality of etched features which correspond to a plurality of features in the substrate. Spheres are provided in the features of the mask or substrate so that the mask and substrate are aligned when each of the
[ The invention claimed is:] [1.]1. A method of depositing a material on a substrate comprising the steps of:providing a semiconductor mask with an aperture for defining an area of the substrate to be covered by the material, the mask further comprising a first plurality of pyramidal etched features
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