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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0449979 (1999-11-26) |
우선권정보 | JP0337543 (1998-11-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 3 |
In a vacuum pressure control system, the vacuum pressure in a reaction chamber 10 is measured by vacuum pressure sensors 14 and 15 (S22), the measured value is changed at a set vacuum pressure changing speed commanded from the exterior or determined and stored in advance in a controller of the syste
[ What is claimed is:] [1.]1. A vacuum pressure control system including:a vacuum pressure proportional opening and closing valve which is disposed on a pipe connecting a vacuum vessel to a vacuum pump and changes its opening degree to regulate vacuum pressure in the vacuum vessel; anda vacuum press
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