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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0383053 (1999-08-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 17 인용 특허 : 30 |
A microelectromechanical (MEMS) device is provided that includes a microelectronic substrate, a microactuator disposed on the substrate and formed of a single crystalline material, and at least one metallic structure disposed on the substrate adjacent the microactuator such that the metallic structu
[ What is claimed is:] [1.]1. A microelectromechanical device comprising:a microelectronic substrate;a thermally actuated microactuator disposed on said substrate and comprised of a single crystalline material; andat least one metallic structure disposed on said substrate and spaced from said microa
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