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특허 상세정보
Wafer latch with a ball bearing assembly
| 국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC7판) | B23Q-003/00 |
| 미국특허분류(USC) | 269/903 ; 269/128 ; 269/135 ; 269/150 ; 451/365 |
| 출원번호 | US-0361783 (1999-07-26) |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
|
| 인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 5 |
초록
A latch for securing a wafer to a clamp plate. The latch may include a bearing that couples a wheel to a horizontal shaft. The horizontal shaft is adapted to rotate relative to the clamp ring so that the wheel secures the wafer. The bearing minimizes the amount of particles generated by the moving components of the latch that may contaminant the wafer.
대표
청구항
[ What is claimed is:] [1.]1. A latch for securing a wafer, comprising:a first element;a second element that can move relative to said first element; anda bearing that is coupled to said first element and said second element, said bearing includes a ball bearing.
이 특허에 인용된 특허 (5)
- Vollaro Joseph F. (Pleasantville NY), Apparatus for providing consistent, non-jamming registration of notched semiconductor wafers.
- Csik Terrence S. ; Short Dale L., Gallery retainer.
- Chung Henry, Printed circuit board fixture.
- Doue Julien (Liancourt FRX) Beauvineau Jacky (Igny FRX), Support device for a thin substrate of a semiconductor material.
- Dean Robert E. (High Bridge NJ) Fink James L. (Millburn NJ), Wafer holding apparatus and method.
이 특허를 인용한 특허 (6)
- Meron, Ovadia; Genkin, Dmitriy, Latch for detachably attaching and mounting a semiconductor wafer to a support ring.
- Kopacz, Stanislaw; Lawson, John, Method of securing a substrate in a semiconductor processing machine.
- Jiang, Yunshao; Lin, Kun Hsien; Wang, Yongqiang; Qi, Minghu; Chen, Zenghong; Yang, Weibing; Shu, Zhiyou; Yang, Guokun; Li, Chenyangzi, Positioning device for glass substrate.
- Kopacz, Stanislaw; Lawson, John, Semiconductor wafer holding assembly.
- Chen, Xinglong; Liu, Dali; Jang, Sung-Ho; Lim, Yong-Ho, Wafer clamping apparatus.
- Meron, Ovadia; Genkin, Dmitriy, Wafer latch with a ball bearing assembly.
