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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0361783 (1999-07-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 5 |
A latch for securing a wafer to a clamp plate. The latch may include a bearing that couples a wheel to a horizontal shaft. The horizontal shaft is adapted to rotate relative to the clamp ring so that the wheel secures the wafer. The bearing minimizes the amount of particles generated by the moving c
[ What is claimed is:] [1.]1. A latch for securing a wafer, comprising:a first element;a second element that can move relative to said first element; anda bearing that is coupled to said first element and said second element, said bearing includes a ball bearing.
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