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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0468112 (1999-12-21) |
우선권정보 | JP0369139 (1998-12-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 3 |
A transfer system 7 for carrying a wafer W into/out of a process chamber 4 is provided in a box 10 defining a load-lock chamber 3. The box 10 is divided into a first chamber 11 and a second chamber 12. A transfer arm 21 for carrying the wafer W is provided in the first chamber 11. A linearly moving
[ What is claimed is:] [1.]1. A transfer system, for use in a vacuum process equipment comprising a process chamber and a load-lock chamber, for carrying an object to be processed into/out of said process chamber, said transfer system comprising:a first chamber formed in said load-lock chamber;a sec
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