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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0826692 (2001-04-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 22 인용 특허 : 41 |
A cryogenic vacuum pump includes, in an integral assembly, temperature sensors and heaters associated with the first and second stages of the cryopumping array, a roughing valve and a purge valve. An electronic module removably coupled in the assembly responds to all sensors and controls all operati
[ What is claimed is:] [1.]1. A method of controlling and performing diagnostic procedures with respect to a cryopump comprising:coupling local electronics to the cryopump, the electronics being programmed to provide individual control of the cryopump during operation and to store diagnostic operati
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