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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0283064 (1999-03-31) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 4 |
An interlock system prevents collision of handling equipment and damage to wafers in an automated wafer transport apparatus during manual control by an operator. Sensors are used to sense when wafer transport arms and wafer stage are both in their home positions. A controller is responsive to the se
[ What is claimed is:] [1.]1. Apparatus for transporting semiconductor wafers from a first storage area to a second staging area and operable in both automatic and manual modes, comprising:a wafer stage at said second area for staging said wafers thereon, said wafer stage being shiftable from a home
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