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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0124156 (1998-07-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 140 인용 특허 : 37 |
A cluster tool system having a computer memory. The memory has a variety of codes for operating a plasma immersion ion implantation chamber. In some embodiments, the cluster tool method also includes computer codes for a controlled cleaving process chamber, as well as others.
[ What is claimed is:] [1.]1. A clustertool system for forming substrates, said clustertool including a memory comprising:a code directed to providing a donor substrate;a code directed to placing said donor substrate in a plasma immersion ion implantation chamber;a code directed to introducing plasm
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