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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0367176 (1999-08-09) |
우선권정보 | EPX, 19971211, 97203891 |
국제출원번호 | PCT/IB98/01977 (1998-12-10) |
§371/§102 date | 19990809 (19990809) |
국제공개번호 | WO-9930343 (1999-06-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 7 |
Electron-optical rotationally symmetrical lenses inevitably suffer from spherical and chromatic aberration which often impose a limit on the resolution. These lens defects cannot be eliminated by compensation by means of rotationally symmetrical fields. In order to enhance the resolution nevertheles
[ What is claimed is:] [1.]1. A particle-optical apparatus which comprises:a particle source (1) for producing a beam of electrically charged particles which travel along an optical axis of the apparatus in order to irradiate an object (13) to be irradiated in the apparatus by means of the particle
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