[특허]Method and system for increasing cryopump capacity

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Method and system for increasing cryopump capacity 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B01D-008/00
출원번호	US-0592181 (2000-06-12)
발명자 / 주소	Whelan Francis J. Reidy Keith E.
대리인 / 주소	Flehr Hohbach Test Albritton & Herbert LLP
인용정보	피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 8

초록

A cryopump in which the surface area of the condensing or adsorbing panels is increased without materially increasing the dimensions by applying a porous or roughened layer on the surface of the panels.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.]1. A condensing or adsorbing surface for cryopumps comprising a thermally conducting panel and a thermally conductive porous metal or ceramic coating or film applied on at least one surface of the panel to capture and condense gaseous molecules on the panel surface and the

이 특허에 인용된 특허 (8)

Okamura Masami,JPX ; Arai Tomohisa,JPX ; Hashimoto Keisuke,JPX ; Chandrtilleke Rohana,JPX ; Nakagome Hideki,JPX, Cold accumulating material for extremely low temperature cold, refrigerator using the same and heat shielding member.
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Lorimer D'Arcy H., Combination cryopump/getter pump and method for regenerating same.
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Welch Kimo M. (Mountain View CA), Cryogenic pumping apparatus with replaceable pumping surface elements.
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Hilton David J. (Palmer Lake CO), Cryopump.
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Lessard Philip A. (Acton MA) Andeen Bruce R. (Acton MA), Cryopump with quicker adsorption.
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Myneni Ganapati R. (Yorktown VA) Kneisel Peter (Williamsburg VA), Metal sponge for cryosorption pumping applications.
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Larin Marxen Petrovich (PROSPEKT Nauki ; 29 ; kv. 78 Leningrad SU), Method of producing vacuum in recipient and vacuum pump for effecting same.
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Armstrong Frank O. (Lubbock TX) Jeffreys Brian B. (Lubbock TX), Methods and systems for shielding in sputtering chambers.
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이 특허를 인용한 특허 (4)

Rymer,Joseph Patrick; Ricolcol,Rafael, Bond strength of coatings to ceramic components.
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Tanaka, Hidekazu, Cryopump and vacuum pumping method.
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Bartlett,Allen J.; Nordborg,John; Thompson,Brian, High conductance cryopump for type III gas pumping.
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Anantharaman, Surendra Babu; Yang, Wen-Cheng; Kao, Chung-En; Lu, Victor Y.; Chin, Wei, Ultra high vacuum cryogenic pumping apparatus with nanostructure material.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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