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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0507845 (2000-02-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 9 |
An air bubble purging system for filters include a venturi valve in the drain line of the filter. The venturi valve is connected to a high pressure source line so that when a high rate of flow is produced in the high pressure source line, a venturi effect is created in the venturi valve to open the
1. An air bubble purging system for purging air from a photoresist filter, comprising:a filter housing having an inlet, and a purge port; a drain line; a filter disposed in said filter housing for filtering a photoresist; a high pressure line connected to a valve of high pressure gas, a venturi valv
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