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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0531894 (2000-03-21) |
우선권정보 | JP-0078048 (1999-03-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 4 |
A turbo-molecular pump has a casing, a stator fixedly mounted in the casing, and a rotor supported in the casing for rotation relatively to the stator. A turbine blade pumping assembly and a thread groove pumping assembly for discharging gas molecules are disposed between the stator and the rotor. T
1. A turbo-molecular pump comprising:a casing; a stator fixedly mounted in said casing; a rotor supported in said casing and being rotatable at a high speed; and a turbine blade pumping assembly and a thread groove pumping assembly which are disposed between said stator and said rotor; said rotor be
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