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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0294334 (1999-04-20) |
우선권정보 | JP-0115069 (1998-04-24); JP-0145770 (1998-05-27); JP-0261829 (1998-09-16); JP-0080387 (1999-03-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 5 |
When an object to be heated is heated without temperature nonuniformity in its heated surface, unwanted thermal deformation can be suppressed, and thermal processing precision can be improved. For this purpose, a heat transfer plate for heating a plate-like object to be heated, and a base plate are
1. A method of heating a flat plate-like member to be heated, comprising the steps of:placing said flat plate-like member to be heated on a flat heating plate, supporting said flat heating plate by a plurality of support members, measuring a temperature state of said support members during a heating
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