최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0239790 (1999-01-29) |
우선권정보 | JP-0019317 (1998-01-30) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 13 |
A packing method of an object to be carried in a clean room that can reduce remarkably the amount of evolution of waste and accomplish resource saving, and a packing material therefor, wherein a packing material 102, which wraps an object 101 to be carried in a clean room 130 which is a clean atmosp
1. A method of packing semiconductor manufacturing apparatuses to be carried into a clean room having a clean atmosphere, comprising the steps of:providing at least one sheet of packing material formed of low dust evolution fibers that can be cleaned and reused; packing the sheet of packing material
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.