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Method and apparatus for cooling a CVI/CVD furnace 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F27D-007/02
  • F27D-015/02
출원번호 US-0178293 (1998-10-23)
발명자 / 주소
  • Dennis T. Garn
  • Jerry S. Lee
  • James W. Rudolph
출원인 / 주소
  • Goodrich Corporation
대리인 / 주소
    Brinks Hofer Gilson & Lione
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 29

초록 ▼

The invention relates to method and apparatus for cooling a furnace configured for processing refractory composites. More specifically, the invention is directed to method and apparatus for cooling a furnace more rapidly than prior art methods. According to the invention, a cooling gas is flowed in

대표청구항

1. A method for cooling a furnace configured to process refractory composites, comprising the steps of:flowing a cooling gas in a closed circuit through said furnace, over said refractory composites disposed within said furnace, and over a cooling element disposed within said furnace.

이 특허에 인용된 특허 (29)

  1. Soliman Mohamed M. (Westerville OH), Annealing furnace.
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  2. Bessot Jean-Jacques (Arpajon FRX) Bourdon Bernard (Gometz le Chatel FRX), Apparatus for chemically activated deposition in a plasma.
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  3. Mikata Yuuichi (Kawasaki JPX), Apparatus for forming a thin film.
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  4. Rudolph James W. (Colorado Springs CO) Purdy Mark J. (Akron OH) Bok Lowell D. (Anna OH), Apparatus for use with CVI/CVD processes.
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  5. Kinoshita Ryoichi (Tokyo JPX), Cooling device of heating furnace in thermal analyzer.
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  6. Simson Morris (Framingham MA) Fabricius John H. (Westford MA) Browne Ronnie (Derry NH) Waugh Arthur (Winchester MA) Sarkozy Robert F. (Westford MA) Lai Chiu K. S. (Wellesley MA), Cross-flow diffusion furnace.
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  7. Waugh Arthur (Winchester MA), Double wall fast cool-down furnace.
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  8. Penfold Alan S. (Playa del Ray CA) Thornton John A. (Los Angeles CA), Electrode type glow discharge apparatus.
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  9. Penfold Alan S. (Playa del Rey CA) Thornton John A. (Los Angeles CA), Electrode type glow discharge apparatus.
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  10. Penfold Alan S. (Playa del Rey CA) Thornton John A. (Los Angeles CA), Electrode type glow discharge method and apparatus.
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  11. Moller Craig A. (Roscoe IL), Gas cooling system for processing furnace.
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  12. Bergman Carl (Vsters SEX) Ohlsson Lars (Helsingborg SEX), Hot-isostatic high-pressure press.
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  13. Pfau Hans (Kleve DEX) Fleiter Albert (Kleve DEX), Industrial furnace for the thermal treatment of metal workpieces.
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  14. Conroy Michael D. ; Johnson Jay A. ; Cybulski Claude E. ; Cybulski Eric R., Kiln lid mounting assembly.
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  15. Nishi Katsuo (Tokyo JPX) Terada Kazuo (Kumamoto-ken JPX) Ohkase Wataru (Sagamihara JPX) Yamaga Kenichi (Sagamihara JPX), Method and apparatus for controlling temperature in rapid heat treatment system.
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  16. Andersson Karl-Hugo,CHX ; Stenkvist Sven-Einar,CHX ; Wikstrom Goran,SEX, Method and furnace for treatment of ash.
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  17. Watanabe Misuzu (Kawasaki JPX), Method for carbon film production.
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  18. Miyashita Naoto (Yokohama JPX) Takahashi Koichi (Kawasaki JPX) Koyama Mitsutoshi (Tokyo JPX) Nunotani Shinji (Yokohama JPX) Yanagiya Satoshi (Kawasaki JPX) Baba Yoshiro (Yokohama JPX), Method of manufacturing annealed films.
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  19. Nuutinen Pekka (Kontiolahti FIX), Method of modifying masonry furnace by inserting electric heating elements through furnace top cover.
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  20. Harris Robert G. (Montreal CAX), Microwave, a closed vessel and methods of determining volatile material content.
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  21. Sarkozy Robert F. (Westford MA), Modular V-CVD diffusion furnace.
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  22. Poris Jaime (Los Gatos CA), Precision weighing to monitor the thickness and uniformity of deposited or etched thin film.
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  23. Rudolph James W. ; Purdy Mark J., Pressure gradient CVI/CVD apparatus process and product.
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  24. Rudolph James W. ; Purdy Mark J., Pressure gradient CVI/CVD apparatus, process and product.
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  25. Petzi Fritz (Nuremberg DEX), Process for reducing the oxygen content of the atmosphere in a heat treatment furnace and heat treatment furnace for car.
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  26. Keck David W. (Moses Lake WA) Nagai Kenichi (Moses Lake WA) Yatsurugi Yoshifumi (Moses Lake WA) Morihara Hiroshi (Vancouver WA) Izawa Junji (Hadano JPX), Production of high-purity polycrystalline silicon rod for semiconductor applications.
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  27. Sekiya Isao (Numazu JPX), Rotary barrel type induction vapor-phase growing apparatus.
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  28. Dickey Eric R. (Northfield MN) Bjornard Erik J. (Northfield MN), Shielding for arc suppression in rotating magnetron sputtering systems.
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  29. Dickey Eric R. ; Bjornard Erik J., Shielding for arc suppression in rotating magnetron sputtering systems.
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이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. Erickson, Mark R.; Dingus, Aaron L.; Custer, III, Arthur W.; Poole, Henry J.; Jamshidi, Nader, Thermal diffusion chamber control device and method.
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