최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0419345 (1999-10-15) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 39 인용 특허 : 36 |
A cleaning system that utilizes an organic cleaning solvent and pressurized fluid solvent is disclosed. The system has no conventional evaporative hot air drying cycle. Instead, the system utilizes the solubility of the organic solvent in pressurized fluid solvent as well as the physical properties
1. A process for cleaning substrates comprising:placing the substrates to be cleaned in a cleaning vessel wherein the cleaning vessel is not pressurized; adding organic solvent to the cleaning vessel wherein the organic fluid solvent is in a liquid state at or substantially near atmospheric pressure
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.