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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0827857 (2001-04-06) |
우선권정보 | JP-0108490 (2000-04-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 12 |
A tank stores a drying liquid for drying a semiconductor wafer. A boat vertically holds a plurality of target semiconductor wafers to be dried. The semiconductor wafers which are held by the boat are entirely soaked in the drying liquid. After this, the semiconductor wafers are lifted from the dryin
1. A drying apparatus comprising:a tank which stores a drying liquid for drying a target semiconductor wafer to be dried; a holder which holds the semiconductor wafer, perpendicular to a surface of the drying liquid; a dryer which soaks the semiconductor wafer in the drying liquid, and removes the s
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