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Diffusion coating applied by magnetron sputtering 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-014/34
  • C23C-014/35
출원번호 US-0397075 (1999-09-16)
발명자 / 주소
  • Gennady Yumshtyk CA
출원인 / 주소
  • Cametoid Limited CA
대리인 / 주소
    Lynn C. Schumacher
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 7

초록 ▼

A method of applying diffusion coatings by magnetron sputtering includes the use of a solenoid coil which produces an alternating magnetic field to inductively heat the article to be coated. The coating may preferably be a multi-layer or multi-component diffusion coating which may include a diffusio

대표청구항 ▼

1. A method of diffusion coating a metal substrate by magnetic field enhanced magnetron sputtering wherein the metal substrate is inductively heated during coating deposition by a solenoid coil in a configuration of a coiled tubular conductor connected to a high current/high frequency AC power suppl

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Penfold Alan S. (Playa del Rey CA) Thornton John A. (Los Angeles CA), Glow discharge method and apparatus.
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  2. Vukanovic, Vladimir, High pressure, non-logical thermal equilibrium arc plasma generating apparatus for deposition of coatings upon substrates.
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  3. Rose Peter W. (San Carlos CA), Hollow-cathode magnetron and method of making thin films.
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  4. Collins George J. (807 W. Oak St. Fort Collins CO 80521) McNeil John R. (13423 Desert Hills NE. Albuquerque NM 87111) Yu Zeng-gi (North Aggie Village Apt. 7C ; C.S.U. Fort Collins CO 80523), Magnetron deposition of ceramic oxide-superconductor thin films.
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  5. Wesemeyer Harald (Wiehl DEX) Veltrop Hans (Grubbenvorst NLX), Method and device for coating cavities of objects.
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  6. Edamura Mizuo (Kobe JPX) Kajikawa Takashi (Miki JPX) Okamoto Koji (Akashi JPX), Sputtering system.
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  7. Grunke Richard (Munich DEX) Peichl Lothar (Dachau DEX) Puchinger Franz (Niederscheyern DEX) Wydra Gerhard (Oberschleissheim DEX), Structural component made of a titanium alloy and covered by a protective coating and method for producing the coating.
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이 특허를 인용한 특허 (6)

  1. Yumshtyk, Gennady, Advanced gun barrel.
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  2. Sassaman, Katie L.; Kwok, Wai Man Raymund; Qian, Amy; Blakemore, Andrea L., Magnet electroplating.
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  3. Opfermann, Benjamin C.; Pessetto, Craig P.; Wiser, Douglas K., Method of refurbishing high value articles.
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  4. Yumshtyk, Gennady; Ivanov, Dmitri, Sputtering devices and methods.
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  5. Yumshtyk, Gennady; Ivanov, Dmitri, Sputtering devices and methods.
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  6. Yumshtyk, Gennady, Sputtering targets and methods.
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