[특허]Efficient method of making micro-miniature switch device

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Efficient method of making micro-miniature switch device 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01L-021/82
출원번호	US-0679582 (2000-10-04)
발명자 / 주소	Dean Tran John Joseph Berenz Luis M. Rochin Thomas J. Roth Ronald A. DePace
출원인 / 주소	TRW Inc.
대리인 / 주소	Tarolli, Sundheim, Covell, Tummino & Szabo L.L.P.
인용정보	피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 15

초록 ▼

A method of making a micro-miniature switch device (10), which has at least one member (68) movable relative to a substrate (12) upon which the device is provided, includes providing a layer of sacrificial non-photolithography material upon a stratum connected to the substrate. A template is provided via photolithographing step that uses a photoresist material upon a stratum connected to the substrate. A layer is provided to include at least a portion of the movable member. The photoresist material and the sacrificial non-photolithography material are removed using photoresist developer. Preferably, at least two photolithography process steps utilize a single photolithographic mask. Also preferably, substrate material is removed to create a recess and at least one channel into the substrate, wherein the channel intersects the recess. At least a portion of the movable member is provided at a location within the recess and at least a portion of the movable member is provided at a location within the channel.

대표청구항 ▼

1. A method of making a micro-miniature switch device that has at least one member movable relative to a substrate upon which the device is provided, said method comprising:providing a layer of sacrificial non-photolithography material upon a stratum connected to the substrate; photolithographing a photoresist material upon a stratum connected to the substrate to provide a template; providing a layer to comprise at least a portion of the movable member; and removing the photoresist material and the sacrificial non-photolithography material using photoresist developer.

이 특허에 인용된 특허 (15)

Kato Tomio (Tokyo JPX) Hatakeyama Manabu (Tokyo JPX), Acceleration sensor.
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Watanabe Takamoto (Nagoya JPX) Nonoyama Shigeru (Nishikamo-gun JPX) Takeuchi Yukihiro (Seto JPX), Acceleration sensor using MIS-like transistors.
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Capaldi, Nicholas R.; Griffin, Brian W., Accelerometer.
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Lin Tsen-Hwang (Dallas TX), Accelerometer.
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Steinke Kurt E. (Bellevue WA), Accelerometer pendulum support assembly.
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Petersen Kurt E. (San Jose CA) Barth Phillip W. (Palo Alto CA), Accelerometer with integral bidirectional shock protection and controllable viscous damping.
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Putty Michael W. (East Detroit MI) Hicks David B. (Farmington Hills MI) Chang Shih-Chia (Bloomfield Hills MI) Eddy David S. (Romeo MI), Active microaccelerometer.
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Breed David S., Air damped crash sensor and construction method thereof.
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Cole John C. (Mercer Island WA), Micro-miniature accelerometer.
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Hulsing ; II Rand H. (Redmond WA), Micromachined rate and acceleration sensor.
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Grieff Paul (Wayland MA) Boxenhorn Burton (Chestnut Hill MA) Weinberg Marc S. (Needham MA), Micromechanical angular accelerometer with auxiliary linear accelerometer.
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Cahill Sean Samuel (Palo Alto CA) Snoeys Walter (Perly CHX) Nakamura Kenichi (Tokyo JPX), Preloaded linear beam vibration sensor.
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Chen Johnny C. (San Jose CA), Process for making a thin film magnetic head with single step lift-off.
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Hawkins William G. (Webster NY) O\Neill James F. (Penfield NY) Proano Roberto E. (Rochester NY), Process for manufacturing segmented channel structures.
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Chang Shih-Chia (Bloomfield Hills MI) Hicks David B. (Farmington Hills MI) Putty Michael W. (East Detroit MI), Resonant-bridge two axis microaccelerometer.
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이 특허를 인용한 특허 (2)

Ives,Thomas W., Effecting dynamic measurement of low mass devices.
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Charlotte Hetterick, Enclosure for wireless communication device.
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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