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Linear aperture deposition apparatus and coating process

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-014/14
  • C23C-014/24
  • C23C-014/26
출원번호 US-0758839 (2001-01-10)
발명자 / 주소
  • Matthew R. Witzman
  • Richard A. Bradley, Jr.
  • Christopher W. Lantman
  • Eric R. Cox
출원인 / 주소
  • Flex Products, Inc.
대리인 / 주소
    Workman, Nydegger, & Seeley
인용정보 피인용 횟수 : 13  인용 특허 : 15

초록

A linear aperture deposition apparatus and process are provided for coating substrates with sublimed or evaporated coating materials. The apparatus and process are particularly suited for producing flexible films having an optical interference coating with a very high surface thickness uniformity an

대표청구항

1. A linear aperture deposition apparatus for coating a substrate, comprising:(a) a source box containing a charge of source material; (b) a heating element within the source box adapted to heat the source material to produce a vapor of the source material; (c) a chimney having at least one inlet in

이 특허에 인용된 특허 (15)

  1. Soden Philip H. (Oakville CAX) Pundsack Arnold L. (Georgetown CAX), Apparatus and process for preparation of migration imaging members.
  2. Taguchi Toshio (Hiroshima JPX) Hoshi Younosuke (Hiroshima JPX) Sueda Minoru (Hiroshima JPX) Kamikawa Susumu (Hiroshima JPX), Apparatus for vacuum deposition of sublimative substance.
  3. Matteucci, John S.; Snyder, James K.; Hahn, Robert E., Flexible selective energy control sheet and assembly using the same.
  4. Phillips Roger W. (Santa Rosa CA) Mayer Thomas (Boulder CO) Ash Gary S. (Boston MA), Hot stamp article for applying optically variable coating to substrates.
  5. Witzman Matthew R. ; Bradley ; Jr. Richard A. ; Lantman Christopher W. ; Cox Eric R., Linear aperture deposition apparatus and coating process.
  6. Brewer Peter D. (Westlake Village CA) LeBeau Clifford A. (Newbury Park CA), MBE apparatus with photo-cracker cell.
  7. Colombo Paul E. ; Donadio Robert F., MBE deposition method employing effusion cell having a unibody crucible.
  8. Butler John Francis (Bethel Park PA) Babyak William John (Pittsburgh PA), Method and apparatus for vapor-depositing coatings on substrates.
  9. Dokyi Emmanuel K., Method of mounting filters on image sensors.
  10. Sugioka Shinji (Kawasaki JPX), Photochemical vapor deposition apparatus.
  11. Weinert Hilmar (Schulstr. 1 D-8950 Kaufbeuren 2 DEX), Series evaporator.
  12. Chaussade Pierre (Sully Sur Loire FRX) Rigal Francoise (Sully Sur Loire FRX), Transparent substrate fitted with a stack of silver layers, with application to heated laminated windows.
  13. Melnyk Andrew R. (Rochester NY) Swales Michael G. (Sodus NY) Teney Donald (Rochester NY), Vacuum deposition process.
  14. Malinovski ; Yordan Petrov ; Bakardjiev ; Stefan Todorov ; Martinov ; Georgi Mirchev, Vapor deposition apparatus for coating continuously moving substrates with layers of volatizable solid substances.
  15. Rancourt James D. (Santa Rose CA) Beauchamp William T. (Windsor CA), Visible transmitting and infrared reflecting filter.

이 특허를 인용한 특허 (13)

  1. Hoffmann, Uwe; Trube, Jutta; Haas, Dieter, Apparatus and method for coating an areal substrate.
  2. Albrecht, Thomas R.; Yang, Henry H., Apparatus, method and system for fabricating a patterned media imprint master.
  3. Woelk, Egbert; DiCarlo, Ronald L.; Shenai-Khatkhate, Deodatta Vinayak, Delivery device, methods of manufacture thereof and articles comprising the same.
  4. McLeod, Paul Stephen, Disc vapor lubrication.
  5. Yang, Yixin; Mitsuhashi, Yoshiyuki; Iijima, Masayuki; Wakamatsu, Sadatsugu; Saito, Kazuhiko; Fujii, Tomoharu; Yoshimoto, Tsuyoshi; Hosoya, Togo; Hirono, Takayoshi; Hayashi, Nobuhiro; Kakutani, Nobuaki; Sunagawa, Naoki; Tada, Isao; Hirano, Hiroyuki, Film-forming apparatus.
  6. Liu, Yawei, Heating device for evaporation of OLED material.
  7. Woelk, Egbert; DiCarlo, Jr., Ronald L., Method for constant concentration evaporation and a device using the same.
  8. Yamazaki, Shunpei; Murakami, Masakazu, Method of fabricating light emitting devices.
  9. Otsuka, Manabu; Tokunaga, Yuzo; Mashimo, Seiji; Yoshikawa, Toshiaki; Fukuda, Naoto, Method of manufacturing organic light emitting device and vapor deposition system.
  10. Yang,Yimou; Martin,Kenneth; Misunas,Stanley J.; Tao,Song; Morganson,David, Multi-layered radiant thermal evaporator and method of use.
  11. Brutti, Thierry; Pierret, Benoit; Guillon, Herve, Process and apparatus for liquid delivery into a chemical vapor deposition chamber.
  12. Milshtein, Erel, System and method for top-down material deposition.
  13. Probst, Volker; Stetter, Walter, Thermal evaporation apparatus, use and method of depositing a material.
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